Gall offer trin nwy cynffon drin nwyon a ddefnyddir mewn prosesau ysgythru a phrosesau dyddodi anwedd cemegol yn y diwydiannau lled -ddargludyddion, grisial hylif, ac ynni solar, gan gynnwys Sih4, Sih2Cl2, pH3, B2H6, TEOS, H2, CO, NF3, N2, NH6, C2F, Wf6, Wf6, Wf6, Wf6, Wf6, Wf6, WF6, C2F A.
Dull Trin Nwy Gwacáu
Yn ôl nodweddion triniaeth nwy gwacáu, gellir rhannu'r driniaeth yn bedwar math o driniaeth:
1. Math o olchi dŵr (trin nwyon cyrydol)
2. Math ocsideiddio (delio â nwyon llosgadwy a gwenwynig)
3. arsugniad (yn ôl y math o ddeunydd arsugniad i ddelio â'r nwy gwacáu cyfatebol).
Math o hylosgi plasma (gellir trin pob math o nwyon gwacáu).
Mae gan bob math o driniaeth ei fanteision a'i anfanteision ei hun yn ogystal â'i gwmpas ei gymhwyso. Pan fydd y dull triniaeth yn golchi dŵr, mae'r offer yn rhad ac yn syml, a dim ond nwyon sy'n hydoddi mewn dŵr y gall eu trin; Mae ystod cymhwysiad y math golchi dŵr trydan yn uwch nag ystod y math golchi dŵr, ond mae cost y llawdriniaeth yn uchel; Mae gan y math sych effeithlonrwydd triniaeth dda, ac nid yw'n berthnasol i'r llif nwy sy'n hawdd ei rwystro neu ei lifo.
Gellir categoreiddio cemegolion a'u sgil-gynhyrchion a ddefnyddir yn gyffredin yn y diwydiant lled-ddargludyddion yn ôl eu priodweddau cemegol a'u gwahanol ystodau:
1. Nwyon fflamadwy fel SiH4H2, ac ati.
2. Nwyon gwenwynig fel ASH3, PH3, ac ati.
3. Nwyon cyrydol fel HF, HCl, ac ati.
4. Nwyon tŷ gwydr fel CF4, NF3, ac ati.
Since the above four gases are harmful to the environment or human body, must prevent its direct emission into the atmosphere, so the general semiconductor plant are installed with a large centralized exhaust gas treatment system, but this system is only water scrubbing exhaust, so its application is limited to the long-distance water-soluble gases, and can not deal with the ever-changing and subtle division of the semiconductor process exhaust gas. Felly, mae angen dewis a chyfateb yr offer trin nwy gwacáu cyfatebol yn ôl y nodweddion nwy sy'n deillio o bob proses er mwyn datrys y broblem nwy gwacáu mewn ffordd fach. Gan fod yr ardal weithio i ffwrdd yn bennaf o'r system trin nwy gwacáu canolog, yn aml oherwydd nodweddion nwy sy'n arwain at grisialu neu gronni llwch ar y gweill, gan arwain at glocsio'r biblinell gan arwain at ollyngiadau nwy, ac mewn achosion difrifol, hyd yn oed achosi ffrwydrad, ni all sicrhau bod diogelwch gwaith staff y safle. Felly, yn yr ardal waith mae angen i ffurfweddu offer trin nwy gwacáu bach sy'n addas ar gyfer nodweddion nwy'r broses, er mwyn lleihau'r nwy gwacáu llonydd yn yr ardal waith, er mwyn sicrhau diogelwch personél.
Amser Post: Awst-10-2023