Mae nwyon purdeb ultra-uchel yn hanfodol trwy gydol y gadwyn gyflenwi lled-ddargludyddion. Mewn gwirionedd, ar gyfer Fab nodweddiadol, nwyon purdeb uchel yw'r gost faterol fwyaf ar ôl silicon ei hun. Yn sgil y prinder sglodion byd -eang, mae'r diwydiant yn ehangu'n gyflymach nag erioed - ac mae'r galw am nwyon purdeb uchel yn cynyddu.
Y nwyon swmp a ddefnyddir amlaf mewn gweithgynhyrchu lled -ddargludyddion yw nitrogen, heliwm, hydrogen ac argon.
Nitrogen
Mae nitrogen yn cyfrif am 78% o'n hatmosffer ac mae'n hynod niferus. Mae hefyd yn digwydd bod yn anadweithiol yn gemegol ac yn an-ddargludol. O ganlyniad, mae nitrogen wedi canfod ei ffordd i mewn i nifer o ddiwydiannau fel nwy anadweithiol cost-effeithiol.
Mae'r diwydiant lled -ddargludyddion yn brif ddefnyddiwr nitrogen. Disgwylir i ffatri weithgynhyrchu lled -ddargludyddion modern ddefnyddio hyd at 50,000 metr ciwbig o nitrogen yr awr. Mewn gweithgynhyrchu lled -ddargludyddion, mae nitrogen yn gweithredu fel pwrpas cyffredinol nwy anadweithiol a glanhau, gan amddiffyn wafferi silicon sensitif rhag ocsigen adweithiol a lleithder yn yr awyr.
Heliwm
Mae heliwm yn nwy anadweithiol. Mae hyn yn golygu, fel nitrogen, bod heliwm yn anadweithiol yn gemegol - ond mae ganddo hefyd y fantais ychwanegol o ddargludedd thermol uchel. Mae hyn yn arbennig o ddefnyddiol wrth weithgynhyrchu lled-ddargludyddion, gan ganiatáu iddo gynnal gwres yn effeithlon i ffwrdd o brosesau ynni uchel a helpu i'w hamddiffyn rhag difrod thermol ac adweithiau cemegol diangen.
Hydrogen
Defnyddir hydrogen yn helaeth trwy gydol y broses weithgynhyrchu electroneg, ac nid yw cynhyrchu lled -ddargludyddion yn eithriad. Yn benodol, defnyddir hydrogen ar gyfer:
Annealing: Mae wafferi silicon fel arfer yn cael eu cynhesu i dymheredd uchel ac wedi'u hoeri'n araf i atgyweirio (anelio) y strwythur grisial. Defnyddir hydrogen i drosglwyddo gwres yn gyfartal i'r wafer ac i gynorthwyo i ailadeiladu'r strwythur grisial.
Epitaxy: Defnyddir hydrogen purdeb ultra-uchel fel asiant lleihau wrth ddyddodiad epitaxial deunyddiau lled-ddargludyddion fel silicon a germaniwm.
Dyddodiad: Gellir dopio hydrogen yn ffilmiau silicon i wneud eu strwythur atomig yn fwy anhrefnus, gan helpu i gynyddu gwrthsefyll.
Glanhau plasma: Mae plasma hydrogen yn arbennig o effeithiol wrth dynnu halogiad tun o ffynonellau golau a ddefnyddir mewn lithograffeg UV.
Argon
Mae Argon yn nwy bonheddig arall, felly mae'n arddangos yr un adweithedd isel â nitrogen a heliwm. Fodd bynnag, mae egni ionization isel Argon yn ei gwneud yn ddefnyddiol mewn cymwysiadau lled -ddargludyddion. Oherwydd ei rhwyddineb cymharol i ïoneiddio, defnyddir argon yn gyffredin fel y prif nwy plasma ar gyfer ysgythriad ac adweithiau dyddodiad mewn gweithgynhyrchu lled -ddargludyddion. Yn ogystal â hyn, defnyddir Argon hefyd mewn laserau excimer ar gyfer lithograffeg UV.
Pam mae purdeb yn bwysig
Yn nodweddiadol, cyflawnwyd datblygiadau mewn technoleg lled -ddargludyddion trwy raddio maint, ac mae'r genhedlaeth newydd o dechnoleg lled -ddargludyddion yn cael ei nodweddu gan feintiau nodwedd llai. Mae hyn yn cynhyrchu nifer o fuddion: mwy o transistorau mewn cyfaint benodol, gwell ceryntau, defnydd pŵer is a newid yn gyflymach.
Fodd bynnag, wrth i'r maint critigol leihau, mae dyfeisiau lled -ddargludyddion yn dod yn fwyfwy soffistigedig. Mewn byd lle mae safle atomau unigol yn bwysig, mae trothwyon goddefgarwch namau yn dynn iawn. O ganlyniad, mae prosesau lled -ddargludyddion modern yn gofyn am nwyon proses sydd â'r purdeb uchaf posibl.
WOFLY is a high-tech enterprise specializing in gas application system engineering: electronic special gas system, laboratory gas circuit system, industrial centralized gas supply system, bulk gas (liquid) system, high purity gas and special process gas secondary piping system, chemical delivery system, pure water system to provide a full set of engineering and technical services and ancillary products from the technical consulting, overall planning, system design, selecting the equipment, Cydrannau parod, gosod ac adeiladu safle'r prosiect, y profion system gyffredinol, cynnal a chadw a chynhyrchion ategol eraill mewn modd integredig.
Amser Post: Gorff-11-2023