Mae technoleg pibellau nwy purdeb uchel yn rhan bwysig o system cyflenwi nwy purdeb uchel, sef y dechnoleg allweddol i gyflawni'r nwy purdeb uchel gofynnol i'r pwynt defnyddio a dal i gynnal yr ansawdd cymwys; Mae technoleg pibellau nwy purdeb uchel yn cynnwys dyluniad cywir y system, dewis ffitiadau ac ategolion, adeiladu a gosod, a phrofi. Yn ystod y blynyddoedd diwethaf, mae'r gofynion cynyddol llym ar gynnwys purdeb ac amhuredd nwyon purdeb uchel wrth gynhyrchu cynhyrchion microelectroneg a gynrychiolir gan gylchedau integredig ar raddfa fawr wedi gwneud technoleg pibellau nwyon perthnasedd uchel yn poeni a phwysleisio cynyddol. Mae'r canlynol yn drosolwg byr o bibellau nwy purdeb uchel o ddewis deunyddof adeiladu, yn ogystal â derbyn a rheoli dyddiol.
Mathau o nwyon cyffredin
Dosbarthiad nwyon cyffredin yn y diwydiant electroneg：
Nwyon cyffredin（Swmp nwy）: hydrogen (h2), nitrogen (n2), ocsigen (o2), argon (a2), ac ati.
Nwyon arbenigolyn SIH4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,Hcl,CF4 ,NH3,Pocl3, Sih2cl2 Sihcl3,NH3, Bcl3 ,Sif4 ,Clf3 ,Nghwm,C2F6, N2o,F2,HF,Hbr sf6…… ac ati.
Yn gyffredinol, gellir dosbarthu'r mathau o nwyon arbennig fel rhai cyrydolnwyon, Gwenwynignwyon, Fflamadwynwyon, llosgadwynwyon, anadweithiolnwyon, ac ati. Mae'r nwyon lled -ddargludyddion a ddefnyddir yn gyffredin yn cael eu dosbarthu'n gyffredinol fel a ganlyn.
(i) cyrydol / gwenwynignwyon: Hcl, bf3, WF6, Hbr, sih2Cl2, NH3, Ph3, CL2, Bcl3… Ac ati.
(ii) Fflamadwyeddnwyon: H2, Ch4, Sih4, Ph3, Ash3, Sih2Cl2, B2H6, CH2F2,N3F, co… ac ati.
(iii) Llosgadwyeddnwyon: O2, CL2, N2O, nf3… Ac ati.
(iv) anadweithiolnwyon: N2, Cf4, C2F6, C4F8,Sf6, CO2, Ne, kr, ef… ac ati.
Mae llawer o nwyon lled -ddargludyddion yn niweidiol i'r corff dynol. Yn benodol, rhai o'r nwyon hyn, fel SIH4 Bydd hylosgi digymell, cyhyd ag y bydd gollyngiad yn ymateb yn dreisgar gyda'r ocsigen yn yr awyr ac yn dechrau llosgi; a lludw3Yn hynod wenwynig, gall unrhyw ollyngiadau bach achosi'r risg o fywyd dynol, mae hyn oherwydd y peryglon amlwg hyn, felly mae'r gofynion ar gyfer diogelwch dyluniad y system yn arbennig o uchel.
Cwmpas Cais Nwyon
Fel deunydd crai sylfaenol pwysig o ddiwydiant modern, defnyddir cynhyrchion nwy yn helaeth, a defnyddir nifer fawr o nwyon cyffredin neu nwyon arbennig mewn meteleg, dur, petroliwm, diwydiant cemegol, peiriannau, electroneg, gwydr, cerameg, deunyddiau adeiladu, adeiladu, prosesu bwyd, prosesu bwyd, meddygaeth a sectorau meddygol. Mae cymhwyso nwy yn cael effaith bwysig ar dechnoleg uchel y meysydd hyn yn benodol, a dyma ei nwy deunydd crai anhepgor neu nwy proses. Dim ond gydag anghenion a hyrwyddiad amrywiol sectorau diwydiannol newydd a gwyddoniaeth a thechnoleg fodern, gellir datblygu cynhyrchion y diwydiant nwy trwy lamu a ffiniau o ran amrywiaeth, ansawdd a maint.
Cymhwysiad nwy yn y diwydiant microelectroneg a lled -ddargludyddion
Mae'r defnydd o nwy bob amser wedi chwarae rhan bwysig yn y broses lled-ddargludyddion, yn enwedig mae'r broses lled-ddargludyddion wedi'i defnyddio'n helaeth mewn amrywiol ddiwydiannau, o'r ULSI traddodiadol, TFT-LCD i'r diwydiant micro-electro-fecanyddol (MEMS) cyfredol, y mae pob un ohonynt yn defnyddio'r broses lled-ddargludyddion fel y'i gelwir fel y broses weithgynhyrchu o gynhyrchion. Mae purdeb y nwy yn cael effaith bendant ar berfformiad cydrannau a chynhyrchion cynnyrch, ac mae diogelwch y cyflenwad nwy yn gysylltiedig ag iechyd personél a diogelwch gweithrediadau planhigion.
Arwyddocâd pibellau purdeb uchel mewn cludo nwy purdeb uchel
Yn y broses o doddi dur gwrthstaen a gwneud deunydd, gellir amsugno tua 200g o nwy y dunnell. Ar ôl prosesu dur gwrthstaen, nid yn unig roedd ei wyneb yn ludiog gyda halogion amrywiol, ond hefyd yn ei ddellt metel hefyd yn amsugno rhywfaint o nwy. Pan fydd llif aer trwy'r biblinell, bydd y metel yn amsugno'r rhan hon o'r nwy yn ailymuno â'r llif aer, gan lygru'r nwy pur. Pan fydd y llif aer yn y tiwb yn llif amharhaol, mae'r tiwb yn adsorbio'r nwy dan bwysau, a phan fydd y llif aer yn stopio pasio, mae'r nwy sy'n cael ei adsorbed gan y tiwb yn ffurfio cwymp pwysau i'w ddatrys, ac mae'r nwy wedi'i ddatrys hefyd yn mynd i mewn i'r nwy pur yn y tiwb fel amhureddau. Ar yr un pryd, mae'r arsugniad a'r datrysiad yn cael eu hailadrodd, fel bod y metel ar wyneb mewnol y tiwb hefyd yn cynhyrchu rhywfaint o bowdr, ac mae'r gronynnau llwch metel hwn hefyd yn llygru'r nwy pur y tu mewn i'r tiwb. Mae'r nodwedd hon o'r tiwb yn hanfodol i sicrhau purdeb y nwy sy'n cael ei gludo, sy'n gofyn nid yn unig ar lyfn iawn ar wyneb mewnol y tiwb, ond hefyd ymwrthedd gwisgo uchel.
Pan ddefnyddir y nwy â pherfformiad cyrydol cryf, rhaid defnyddio pibellau dur gwrthstaen sy'n gwrthsefyll cyrydiad ar gyfer pibellau. Fel arall, bydd y bibell yn cynhyrchu smotiau cyrydiad ar yr wyneb mewnol oherwydd cyrydiad, ac mewn achosion difrifol, bydd ardal fawr o stripio metel neu hyd yn oed dyllu, a fydd yn halogi'r nwy pur i'w ddosbarthu.
Cysylltiad piblinellau trosglwyddo a dosbarthu nwy purdeb uchel a glân uchel o gyfraddau llif mawr.
Mewn egwyddor, mae pob un ohonynt wedi'u weldio, ac mae'n ofynnol i'r tiwbiau a ddefnyddir gael unrhyw newid yn y sefydliad pan gymhwysir weldio. Mae deunyddiau sydd â chynnwys carbon rhy uchel yn ddarostyngedig i athreiddedd aer y rhannau wedi'u weldio wrth weldio, sy'n gwneud treiddiad nwyon y tu mewn a'r tu allan i'r bibell ac yn dinistrio purdeb, sychder a glendid y nwy a drosglwyddir, gan arwain at golli ein holl ymdrechion.
I grynhoi, ar gyfer nwy purdeb uchel a phiblinell trosglwyddo nwy arbennig, mae angen defnyddio triniaeth arbennig o bibell dur gwrthstaen purdeb uchel, i wneud system biblinell purdeb uchel (gan gynnwys pibellau, ffitiadau, falfiau, VMB, VMP) mewn dosbarthiad nwy purdeb uchel mewn cenhadaeth hanfodol.
Cysyniad cyffredinol o dechnoleg lân ar gyfer piblinellau trosglwyddo a dosbarthu
Mae trosglwyddo corff nwy pur a glân iawn gyda phibellau yn golygu bod rhai gofynion neu reolaethau ar gyfer cludo tair agwedd ar y nwy.
Purdeb nwy: Cynnwys yr awyrgylch amhuredd yn y Purdeb GGAS: Cynnwys yr awyrgylch amhuredd yn y nwy, a fynegir fel arfer fel canran o burdeb nwy, fel 99.9999%, a fynegir hefyd fel cymhareb cyfaint yr awyrgylch amhuredd cynnwys ppm, ppb, ppt.
Sychder: faint o leithder olrhain yn y nwy, neu'r swm a elwir yn wlybaniaeth, a fynegir fel arfer yn nhermau pwynt gwlith, fel pwynt gwlith gwasgedd atmosfferig -70. Ch.
Glendid: Nifer y gronynnau halogedig sydd wedi'u cynnwys yn y nwy, maint gronynnau µm, faint o ronynnau/m3 i'w mynegi, ar gyfer aer cywasgedig, fel arfer wedi'i fynegi o ran faint o mg/m3 o weddillion solet na ellir eu hosgoi, sy'n gorchuddio'r cynnwys olew.
Dosbarthiad Maint Llygrydd: Mae gronynnau llygredd, yn cyfeirio'n bennaf at sgwrio piblinellau, gwisgo, cyrydiad a gynhyrchir gan ronynnau metel, gronynnau huddygl atmosfferig, yn ogystal â micro-organebau, namau a defnynnau cyddwysiad nwy sy'n cynnwys lleithder, ac ati.
a) Gronynnau mawr - maint gronynnau uwchlaw 5μm
b) Gronyn-diamedr deunydd rhwng 0.1μm-5μm
c) Gronynnau ultra-micro-maint gronynnau llai na 0.1μm.
Er mwyn gwella cymhwysiad y dechnoleg hon, er mwyn gallu dealltwriaeth ganfyddiadol o faint gronynnau ac unedau μm, darperir set o statws gronynnau penodol i gyfeirio atynt
Mae'r canlynol yn gymhariaeth o ronynnau penodol
| Enw /maint gronynnau (µm) | Enw /maint gronynnau (µm) | Enw/ maint gronynnau (µm) |
| Firws 0.003-0.0 | Aerosol 0.03-1 | Microdroplet aerosolized 1-12 |
| Tanwydd Niwclear 0.01-0.1 | Paentio 0.1-6 | Hedfan lludw 1-200 |
| Carbon du 0.01-0.3 | Powdr llaeth 0.1-10 | Plaladdwr 5-10 |
| Resin 0.01-1 | Bacteria 0.3-30 | Llwch sment 5-100 |
| Mwg sigaréts 0.01-1 | Llwch tywod 0.5-5 | Paill 10-15 |
| Silicon 0.02-0.1 | Plaladdwr 0.5-10 | Gwallt Dynol 50-120 |
| Halen crisialog 0.03-0.5 | Llwch Sylffwr Crynodedig 1-11 | Tywod môr 100-1200 |
Amser Post: Mehefin-14-2022