Mae technoleg pibellau nwy purdeb uchel yn rhan bwysig o system cyflenwi nwy purdeb uchel, sef y dechnoleg allweddol i ddarparu'r nwy purdeb uchel gofynnol i'r pwynt defnyddio a pharhau i gynnal yr ansawdd cymwys;Mae technoleg pibellau nwy purdeb uchel yn cynnwys dyluniad cywir y system, dewis ffitiadau ac ategolion, adeiladu a gosod, a phrofi.Yn ystod y blynyddoedd diwethaf, mae'r gofynion cynyddol llym ar gynnwys purdeb ac amhuredd nwyon purdeb uchel wrth gynhyrchu cynhyrchion microelectroneg a gynrychiolir gan gylchedau integredig ar raddfa fawr wedi peri pryder a phwysleisio fwyfwy ar dechnoleg pibellau nwyon purdeb uchel.Mae'r canlynol yn drosolwg byr o bibellau nwy purdeb uchel o ddethol deunyddiauof adeiladu, yn ogystal â derbyn a rheoli dyddiol.
Mathau o nwyon cyffredin
Dosbarthiad nwyon cyffredin yn y diwydiant electroneg:
Nwyon cyffredin（Swmp nwy）: hydrogen (H2), nitrogen (N2), ocsigen (O2), argon (A2), etc.
Nwyon arbenigolyn SiH4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCL,CF4 ,NH3,POCL3, SIH2CL2 SIHCL3,NH3, BCL3 ,SIF4 ,CLF3 ,CO,C2F6, N2O,F2,HF,HBR SF6…… etc.
Yn gyffredinol, gellir dosbarthu'r mathau o nwyon arbennig fel rhai cyrydolnwy, gwenwynignwy, fflamadwynwy, llosgadwynwy, anadweithiolnwy, ac ati Mae'r nwyon lled-ddargludyddion a ddefnyddir yn gyffredin yn cael eu dosbarthu'n gyffredinol fel a ganlyn.
(i) Cyrydol / gwenwynignwy: HCl , BF3, WF6, HBr , SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2, BCl3…etc.
(ii) Fflamadwyeddnwy: H2, CH4, SiH4, PH3, AsH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2,CH3F, CO… ac ati.
(iii) hylosgeddnwy:O2, Cl2,N2O, NF3… etc.
(iv) Anadweithiolnwy:N2, CF4,C2F6,C4F8,SF6, CO2, Ne, Kr, Ef … ac ati.
Mae llawer o nwyon lled-ddargludyddion yn niweidiol i'r corff dynol.Yn benodol, mae rhai o'r nwyon hyn, megis SiH4 hylosgiad digymell, cyn belled ag y bydd gollyngiad yn ymateb yn dreisgar gyda'r ocsigen yn yr awyr ac yn dechrau llosgi;ac AsH3yn wenwynig iawn, gall unrhyw ollyngiad bach achosi risg bywyd dynol, oherwydd y peryglon amlwg hyn, felly mae'r gofynion ar gyfer diogelwch dyluniad y system yn arbennig o uchel.
Cwmpas y cais o nwyon
Fel deunydd crai sylfaenol pwysig o ddiwydiant modern, defnyddir cynhyrchion nwy yn eang, a defnyddir nifer fawr o nwyon cyffredin neu nwyon arbennig mewn meteleg, dur, petrolewm, diwydiant cemegol, peiriannau, electroneg, gwydr, cerameg, deunyddiau adeiladu, adeiladu. , prosesu bwyd, meddygaeth a sectorau meddygol.Mae cymhwyso nwy yn cael effaith bwysig ar dechnoleg uchel y meysydd hyn yn arbennig, a dyma ei nwy deunydd crai anhepgor neu nwy proses.Dim ond gydag anghenion a hyrwyddo amrywiol sectorau diwydiannol newydd a gwyddoniaeth a thechnoleg fodern, gall cynhyrchion y diwydiant nwy gael eu datblygu gan lamau a therfynau o ran amrywiaeth, ansawdd a maint.
Cymhwyso nwy mewn diwydiant microelectroneg a lled-ddargludyddion
Mae'r defnydd o nwy bob amser wedi chwarae rhan bwysig yn y broses lled-ddargludyddion, yn enwedig mae'r broses lled-ddargludyddion wedi'i ddefnyddio'n helaeth mewn amrywiol ddiwydiannau, o'r ULSI traddodiadol, TFT-LCD i'r diwydiant micro-electro-mecanyddol (MEMS) presennol, pob un o'r rhain. sy'n defnyddio'r broses lled-ddargludyddion fel y'i gelwir fel proses weithgynhyrchu cynhyrchion.Mae purdeb y nwy yn cael effaith bendant ar berfformiad cydrannau a chynnyrch cynnyrch, ac mae diogelwch y cyflenwad nwy yn gysylltiedig ag iechyd personél a diogelwch gweithrediadau peiriannau.
Arwyddocâd pibellau purdeb uchel mewn cludiant nwy purdeb uchel
Yn y broses o doddi dur di-staen a gwneud deunydd, gellir amsugno tua 200g o nwy fesul tunnell.Ar ôl prosesu dur di-staen, nid yn unig ei wyneb gludiog â gwahanol halogion, ond hefyd yn ei dellt metel hefyd yn amsugno rhywfaint o nwy.Pan fydd llif aer trwy'r biblinell, bydd y metel yn amsugno'r rhan hon o'r nwy yn dychwelyd i'r llif aer, gan lygru'r nwy pur.Pan fydd y llif aer yn y tiwb yn llif amharhaol, mae'r tiwb yn arsyllu'r nwy dan bwysau, a phan fydd y llif aer yn stopio pasio, mae'r nwy sy'n cael ei arsugnu gan y tiwb yn ffurfio cwymp pwysau i'w ddatrys, ac mae'r nwy sydd wedi'i ddatrys hefyd yn mynd i mewn i'r nwy pur yn y tiwb. fel amhureddau.Ar yr un pryd, mae'r arsugniad a'r datrysiad yn cael eu hailadrodd, fel bod y metel ar wyneb mewnol y tiwb hefyd yn cynhyrchu rhywfaint o bowdr, ac mae'r gronynnau llwch metel hwn hefyd yn llygru'r nwy pur y tu mewn i'r tiwb.Mae'r nodwedd hon o'r tiwb yn hanfodol i sicrhau purdeb y nwy a gludir, sy'n gofyn nid yn unig llyfnder uchel iawn o arwyneb mewnol y tiwb, ond hefyd ymwrthedd gwisgo uchel.
Pan ddefnyddir y nwy â pherfformiad cyrydol cryf, rhaid defnyddio pibellau dur di-staen sy'n gwrthsefyll cyrydiad ar gyfer pibellau.Fel arall, bydd y bibell yn cynhyrchu smotiau cyrydiad ar yr wyneb mewnol oherwydd cyrydiad, ac mewn achosion difrifol, bydd ardal fawr o stripio metel neu hyd yn oed trydylliad, a fydd yn halogi'r nwy pur i'w ddosbarthu.
Cysylltiad piblinellau trosglwyddo a dosbarthu nwy purdeb uchel a glendid uchel o gyfraddau llif mawr.
Mewn egwyddor, mae pob un ohonynt yn cael eu weldio, ac nid yw'n ofynnol i'r tiwbiau a ddefnyddir gael unrhyw newid yn y sefydliad wrth gymhwyso weldio.Mae deunyddiau â chynnwys carbon rhy uchel yn ddarostyngedig i athreiddedd aer y rhannau wedi'u weldio wrth weldio, sy'n gwneud treiddiad nwyon y tu mewn a'r tu allan i'r bibell ac yn dinistrio purdeb, sychder a glendid y nwy a drosglwyddir, gan arwain at golli ein holl ymdrechion.
I grynhoi, ar gyfer nwy purdeb uchel a phiblinell trosglwyddo nwy arbennig, mae angen defnyddio triniaeth arbennig o bibell ddur di-staen purdeb uchel, i wneud system piblinellau purdeb uchel (gan gynnwys pibellau, ffitiadau, falfiau, VMB, VMP) yn mae dosbarthiad nwy purdeb uchel yn genhadaeth hanfodol.
Cysyniad cyffredinol o dechnoleg lân ar gyfer piblinellau trawsyrru a dosbarthu
Mae trosglwyddiad corff nwy pur a glân iawn gyda phibellau yn golygu bod yna ofynion neu reolaethau penodol ar gyfer cludo tair agwedd ar y nwy.
Purdeb nwy: Cynnwys awyrgylch amhuredd yn y purdeb gGas: Mae cynnwys atmosffer amhuredd yn y nwy, fel arfer yn cael ei fynegi fel canran o purdeb nwy, megis 99.9999%, a fynegir hefyd fel cymhareb cyfaint cynnwys atmosffer amhuredd ppm, ppb, ppt.
Sychder: faint o leithder olrhain yn y nwy, neu'r swm a elwir yn wlybedd, a fynegir fel arfer yn nhermau pwynt gwlith, megis pwynt gwlith pwysedd atmosfferig -70.C.
Glendid: nifer y gronynnau halogi sydd wedi'u cynnwys yn y nwy, maint gronynnau µm, faint o ronynnau/M3 i'w mynegi, ar gyfer aer cywasgedig, a fynegir hefyd fel arfer yn nhermau faint o mg/m3 o weddillion solet anochel, sy'n gorchuddio'r cynnwys olew .
Dosbarthiad maint llygrydd: mae gronynnau llygryddion, yn cyfeirio'n bennaf at sgwrio piblinellau, gwisgo, cyrydiad a gynhyrchir gan ronynnau metel, gronynnau huddygl atmosfferig, yn ogystal â micro-organebau, phages a defnynnau cyddwysiad nwy sy'n cynnwys lleithder, ac ati, yn ôl maint ei faint gronynnau yn cael ei rannu yn
a) Gronynnau mawr – maint gronynnau dros 5μm
b) Gronyn - diamedr deunydd rhwng 0.1μm-5μm
c) Gronynnau uwch-micro – maint gronynnau llai na 0.1μm.
Er mwyn gwella cymhwysiad y dechnoleg hon, er mwyn gallu deall maint gronynnau ac unedau μm yn ganfyddiadol, darperir set o statws gronynnau penodol i gyfeirio ato.
Mae'r canlynol yn gymhariaeth o ronynnau penodol
| Enw / Maint gronynnau (µm) | Enw / Maint gronynnau (µm) | Enw/ Maint gronyn (µm) |
| Firws 0.003-0.0 | Aerosol 0.03-1 | Microdroplet aerosolized 1-12 |
| Tanwydd niwclear 0.01-0.1 | Paent 0.1-6 | Lludw hedfan 1-200 |
| Carbon du 0.01-0.3 | Powdr llaeth 0.1-10 | Plaladdwr 5-10 |
| Resin 0.01-1 | Bacteria 0.3-30 | Llwch sment 5-100 |
| Mwg sigaréts 0.01-1 | Llwch tywod 0.5-5 | Paill 10-15 |
| Silicôn 0.02-0.1 | Plaladdwr 0.5-10 | Gwallt dynol 50-120 |
| Halen grisialog 0.03-0.5 | Llwch sylffwr crynodedig 1-11 | Tywod môr 100-1200 |
Amser postio: Mehefin-14-2022